Skenuojantis elektroninis mikroskopas (SEM) Apollo Camscan 300 su rentgeno spindulių energijos dispersijos (EDX) ir elektroninio spindulio indukuotų srovių (EBIC) matavimo priedais Oxford Instruments X-Max ir Gatan Digiscan

Padalinys: Fizikos fakultetas

Raktažodžiai: Skenuojantis elektroninis mikroskopas, SEM, rentgeno spindulių energijos dispersija, EDX, elektroninio spindulio indukuotos srovės, EBIC, kietų medžiagų paviršių tyrimai, cheminė mikroanalizė, Apollo Camscan, Oxford Instruments, X-Max, Gatan Digiscan

Atsakingas žmogus: Dr. Arūnas Kadys, tel. +37060034126,

Skenuojantis elektroninis mikroskopas skirtas įvairių kietų medžiagų paviršiaus morfologiniams ir struktūriniams tyrimams (paviršiaus atvaizdavimui ir jo nuotraukų darymui).

Mikroskopo EDS priedėlis skirtas lokalios cheminės sudėties nustatymui kietose medžiagose ir cheminių elementų erdvinio pasiskirstymo tiriamo objekto paviršiuje žemėlapių sudarymui; mikroskopo EBIC priedėlis skirtas puslaidininkinių medžiagų paviršių ir p-n sandūrų elektrinių savybių (krūvininkų difuzijos nuotolio matavimai, sandūros ar paviršiaus laidumo žemėlapio sudarymas) tyrimams.
Skenuojantis elektroninis mikroskopas:
- Elektronų šaltinis - Šotki tipo lauko emisijos elektronų patranka.
- Antrinių (SE) ir atgal sklaidytų (BSE) elektronų detektoriai.
- Elektronų greitinimo įtampa nuo 5 iki 20 kV.
- Maksimali skyra 2 nm esant 20 kV.
- Matavimai atliekami bandiniui esant aukštame vakuume (nuo 10-7 Bar).
- Maksimalus tiriamo bandinio dydis: diametras ne didesnis nei 15 cm, aukštis ne daugiau nei 5 cm.
Rentgeno spindulių energijos dispersijos matavimo priedas:
- Skiriamoji geba pagal energiją Mn Ka 100,000 impulsų per sekundę 125 eV intervale.
- Aptinkamų medžiagų intervalas yra nuo berilio (4) iki plutonio (94).
- Detektoriaus aktyvios dalies plotas 50 mm2.
Programinės įrangos galimybės: galima taškinė, linijinė arba erdvinė cheminių elementų pasiskirstymo analizė, galimas automatinis arba rankinis cheminio elemento atpažinimas.
Elektroninio spindulio indukuotų srovių (EBIC) matavimo priedas:
- EBIC signalas yra susietas su SEM vaizdu.
- Yra EBIC signalo optimizavimo įrankiai.
- Yra galimybė matuoti bandinio U-I charakteristiką.
- Bandinio laikiklis turi 2 zondus.
- Bandinio laikiklis gali būti pasuktas kampu iki 180.
- Maksimalus bandinio diametras 1 cm.

Panaudojimo galimybės. Kietų medžiagų paviršių tyrimai skenuojančiu elektroniniu mikroskopu; kietų medžiagų cheminė mikroanalizė skenuojančiu elektroniniu mikroskopu su EDS/EDX priedėliu; p-n sandūrų ir puslaidininkinių medžiagų paviršių tyrimai skenuojančiu elektroniniu mikroskopu su EBIC priedėliu.