Giliųjų lygmenų tyrimo HERA – DLTS System FT 1030 spektrometras

Padalinys: Fizikos fakultetas

Raktažodžiai: Giliųjų lygmenų spektrometras, DLTS, puslaidininkiniai dariniai, radiaciniai poveikiai, HERA-DLTS System FT 1030

Atsakingas žmogus: Dr. Eugenijus Gaubas, tel. +37060034126,

DLTS spektrometras yra skirtas tirti puslaidininkinius darinius (diodus, Schottky sandūras) įvairiais režimais, registruojant talpos bei srovės stiprio kitimus: C-DLTS (bandinio talpa ne didesnė 3 nF); I-DLTS.

Krūvininkų sužadinimas galimas ir lazerine spinduliuote (1064nm; 532nm). Matavimų temperatūrų ruožas nuo 3K iki 400K. Yra defektų spektrinių parametrų biblioteka, kurioje pagal aktyvacijos energiją ir krūvininkų pagavos skerspjūvį galima identifikuoti krūvininkų gaudyklę. Terminių bei kombinuotų apdorojimų technologijos Si darinių funkcinėms charakteristikoms įvertinti, modifikuoti bei valdyti. Radiacinių poveikių ex situ kontrolė.

Panaudojimo galimybės. Giliųjų lygmenų, suformuojamų technologinėmis procedūromis, spektro kitimų tyrimai.