Femtosekundinio lazerinio mikroapdirbimo kompleksas

Padalinys: Fizikos fakultetas

Raktažodžiai: Lazerinis mikroapdirbimas, femtosekundinis lazeris, Pharos, Aerotech, metalų mikroapdirbimas, stiklų mikroapdirbimas, puslaidininkių mikroapdirbimas

Atsakingas žmogus: Prof. Valdas Sirutkaitis +370 5 236 6005 ; Dr. Domas Paipulas +370 5 236 6290,

Kompleksas skirtas lazeriniam įvairių medžiagų (metalų, stiklų, puslaidininkių) mikroapdirbimui.

Kompleksą sudaro femtosekundinis lazeris Pharos, didelės eigos Aerotech 5 koordinačių precizinis pozicionavimo modulis su valdymo ir autofokusavimo sistema bei optiniu stalu ir pilnu aparatūriniu ir diagnostiniu kompleksu.
Pharos lazerio parametrai: bangos ilgis 1030 nm. Taip pat yra harmonikų modulis leidžia turėti šiuos išėjimo bangos ilgius:
515 nm (antros harmonikos maksimalus keitimo efektyvumas 59 %);
343 nm (trečios harmonikos maksimalus keitimo efektyvumas 29 %);
257 nm (ketvirtos harmonikos maksimalus keitimo efektyvumas 5 %).
Maksimali vidutinė galia P=20 W.
Impulso energija Eimp>400 μJ esant 1-5. kHz dažnių diapazonui. Trukmė τ<300fs. Pluošto kokybė M2<1,3. Pluošto eliptiškumas >0,99. (0,99 esant P = 1 W ir 610 impulsų kHz pasikartojimo dažniui).
Aerotech pozicionavimo sistema pilnai sukomplektuota ant granitinės plokštės su tiltu, valdymo elektronika bei programine įranga. Techniniai pozicionavimo parametrai:
1) X ašies (ABL1500WB): maksimali eiga yra 300 mm, greitis 2 m/s.
2) Y ašies (ABL1500): maksimali eiga yra 300 mm, greitis 2 m/s.
3) Z ašies (ABL15020): maksimali eiga yra 200 mm, greitis 2 m/s, tikslumas ± 0,5 μm.
Sukamųjų ašių techniniai parametrai (ANT130-R):
1) 125 mm sukamosios dalies diametras, tikslumas ±3 kamp. sek., 0,9 μrad skiriamoji geba
2) 120 mm sukamosios dalies diametras, tikslumas ±5 kamp. sek., 0,01 μrad skiriamoji geba Bendra sukamųjų ašių eiga: ±360o.
Taip pat sistema yra su 10 m/s pozicionavimo greičio, 1,5 m/s markiravimo greičio dviejų ašių pluošto valdymo sistema 1030 nm bangos ilgiui. Integruota židinio nuotolio sekimo sistema. Kompiuteris su instaliuota programine įranga, reikalinga dviejų ašių pluošto ir 5 ašių bandinio pozicionavimo sistemų valdymui.