Aerotech vidutinės eigos 5 ašių pozicionavimo sistema su unikaliu mikroapdirbimo aparatūriniu, diagnostiniu kompleksu ir Light Conversion femtosekundiniu lazeriu Pharos

Sukurta: 30 lapkričio 2018
Padalinys: Fizikos fakultetas
Raktažodžiai: Mikroapdirbimas, femtosekundinis lazeris, 5 ašių pozicionavimas, Yb:KGW, Aerotech, Pharos
Atsakingas žmogus: Dr. Domas Paipulas, tel. 85 2366290, Prof. Valdas Sirutkaitis, tel. 8 5 2366005,

Įranga skirta tiksliam mikroapdirbimui, femtosekundinės lazerinės spinduliuotės ir medžiagų sąveikos tyrimams.

Techniniai sistemos pozicionavimo parametrai:
1) X ir Y ašių (ANT180-160-L): maksimali eiga yra 160 mm; greitis 500 mm/s; 300 nm tikslumas.
2) Z ašies (ANT130-060-L): maksimali eiga yra 60 mm; greitis 350 mm/s; tikslumas 200 nm.
Sukamųjų ašių techniniai parametrai:

1) ADRS-150: 140 mm sukamosios dalies diametras; tikslumas ±6 kamp. sek.; 0.315-31.5 μrad skiriamoji geba.
2) ANT130-360-R: ±360° pasukimo kampas, tikslumas ±10 arc sec, maksimalus greitis 200 aps/min.
Sistema sukomplektuota ant granitinės plokštės su valdymo elektronika. Instaliuota programinė įranga 5 ašių pozicionavimo sistemos valdymui. Integruota 10 m/s pozicionavimo greičio ir 1,5 m/s markiravimo greičio pluošto valdymo posistemė 1030/515/343 nm bangos ilgio spinduliuotei. Integruota pluošto fokusavimo į bandinį sistema su 150 mm židinio nuotoliu 1030/515/343 nm bangos ilgio spinduliuotei. Su pozicionavimo sistema naudojamas diodinio kaupinimo 6W vidutinės galios, didelio pasikartojimo dažnio Yb:KGW femtosekundinis lazeris. Maksimalus pasikartojimų dažnis 200 kHz. centrinis bangos ilgis 1030 nm. Impulsų trukmė ~320 fs.