Vaakuminis magnetroninis metalinių sluoksnių formavimas
- Padalinys: Gyvybės mokslų centras
- Raktažodžiai: Magnetronas, garinimas, dangos, auksas, chromas
Paviršiaus plazmonų rezonanso spektroskopijos sensorių kūrimas, optimizavimas ir gaminimas, kvarco mikrosvarstyklių sensorių kūrimas, testavimas ir pagaminimas.
Magnetroninio garinimo metodu formuojami aukso, sidabro, chromo, nikelio, geležies ir vario sluoksniai iš ne mažiau nei 99.99 grynumo metalų. Sluoksnių storis nuo 1 iki 1000 nm. Dengiamas plotas - 80 mm diametro apskritimas. Metalų sluoksniai gali būti modifikuoti organiniais junginiais, taip pat funkcionalizuoti biotinu arba biologiškai aktyviais junginiais, pvz., antikūnais (atskiru užsakymu). Sudėtingos geometrijos sluoksniai gali būti suformuoti ant įvairių dielektrikų, metalų ir puslaidininkių, naudojant užsakovo bei paslaugos teikėjo medžiagas.
Panaudojimo galimybės. Vakuuminis magnetroninis metalų (chromas ir auksas) kontroliuojamo storio sluoksnių (dangų) formavimas kontroliuojamo slėgio (vakuumo) aplinkoje.