Varžos matavimas keturių zondų metodu
- Padalinys: Fizikos fakultetas
- Raktažodžiai: Varža, keturių zondų metodas, paviršinė varža, tūrinė varža
Atliekami paviršinės bei tūrinės varžos matavimai keturių zondų metodu ir nustatomas bandinio laidumo tipą. Platus parametrų intervalas, kontaktų varžos nebuvimas užtikrina tikslius rezultatus ir supaprastina matavimo procedūrą.
Įrangos veikimas pagrįstas keturių adatos tipo elektrodų kontaktu su bandinio paviršiumi. Tekant elektros srovei per du elektrodus, kiti du naudojami susidariusiam potencialų skirtumui registruoti. Gauti ir apdoroti duomenys gali būti išsaugoti ir perkelti į kompiuterį. Įranga tinka bet kokios formos nedidelių bandinių, turinčių plokščią paviršių, varžos ir laidumo tipui nustatyti.
Matuojamas vienas bandinys.
Matavimo įtampa: 0,01 - 1250 mV;
Matavimo srovės stipris: 10 nA – 99,99 mA;
Paviršinė varža: 1mΩ/□ – 500 MΩ/□ (yra galimybė atlikti matavimus ir už šio intervalo ribų, tačiau mažėja rezultatų tikslumas);
Tūrinė varža: 1 mΩcm – 1 MΩcm (galimybė atliki matavimus už šio intervalo ribų priklauso nuo bandinio storio);
Bandinio diametras iki 76 mm.
Panaudojimo galimybės. Silicio, germanio mikrotechnologijos pramonėje.