Puslaidininkinių struktūrų ėsdinimas sausuoju būdu

Sukurta: 26 lapkričio 2018
Padalinys: Fizikos fakultetas
Raktažodžiai: Puslaidininkinių struktūrų ėsdinimas, neorganiniai puslaidininkiai

Naudojant įrangą ėsdinamos įvairus puslaidininkiniai dariniai. Vienu metu ėsdinamas vienas bandinys, geriausi rezultatai pasiekiami bandiniams, kurių diametras yra iki 2‘‘, tačiau yra galimybė ėsdinti bandinius iki 8‘‘ diametro. Ėsdinamų darinių gylio ir pločio santykis iki 20:1.

Panaudojimo galimybės. Paslauga tinkama neorganinių puslaidininkių inžinerijos pramonei, kai reikia ėsdinti mesa struktūras.

Kontaktai: Dr. Ignas Reklaitis, tel. +37060034126,