Spartus medžiagų atkaitinimas 0 – 1200 °C

Sukurta: 26 lapkričio 2018
Padalinys: Fizikos fakultetas
Raktažodžiai: Atkaitinimo krosnis, puslaidininkinių sluoksnių aktyvavimas

Temperatūrinis puslaidininkių plokštelių apdorojimas.
Kaitinimo krosnis pritaikyta kaitinti medžiagas iki 1200 °C, vakuume, azoto, argono arba deguonies atmosferoje arba išvardintų dujų mišinyje.

Kaitinimo sparta >150 K/s, vėsimo greitis ~100 K/min.
Kaitinimo kameros dydis 10x100x100 mm.

Panaudojimo galimybės. Paslauga skirta aktyvuoti neorganinių puslaidininkių epitaksinius sluoksnius, taip pat atkaitinti metalizuotus kontaktus. 

Kontaktai: Dr. Ignas Reklaitis, tel. +37060034126,