Plazminio valymo įrenginys Diener Zepto

Padalinys: Fizikos fakultetas
Raktažodžiai: Plazminis valymas, ėsdinimas, silicio padėklai, stiklo padėklai, Diener Zepto
Atsakingas žmogus: Dr. Karolis Kazlauskas, tel. +370 600 34126,

Plazminio valymo įrenginys skirtas padėklų (silicio, stiklo) valymui bei ėsdinimui.

Padėklo matmenys ne didesni nei: ilgis – 300 mm, plotis – 100 mm; Plazmos generavimo dažnis - 40 ±10% kHz; plazmos generatoriaus galingumas – tolydžiai keičiamas intervale nuo 0 iki 100 W.

Panaudojimo galimybės. Bandinių paruošimas matavimams.

csm jpeg 7eae2dc260

Siekdami užtikrinti jums teikiamų paslaugų kokybę, Universiteto tinklalapiuose naudojame slapukus. Tęsdami naršymą jūs sutinkate su Vilniaus universiteto slapukų politika. Daugiau informacijos