Plazminio valymo įrenginys Diener Zepto

Sukurta: 19 lapkričio 2018
Padalinys: Fizikos fakultetas
Raktažodžiai: Plazminis valymas, ėsdinimas, silicio padėklai, stiklo padėklai, Diener Zepto
Atsakingas žmogus: Dr. Karolis Kazlauskas, tel. +370 600 34126,

Plazminio valymo įrenginys skirtas padėklų (silicio, stiklo) valymui bei ėsdinimui.

Padėklo matmenys ne didesni nei: ilgis – 300 mm, plotis – 100 mm; Plazmos generavimo dažnis - 40 ±10% kHz; plazmos generatoriaus galingumas – tolydžiai keičiamas intervale nuo 0 iki 100 W.

Panaudojimo galimybės. Bandinių paruošimas matavimams.

csm jpeg 7eae2dc260