Vakuuminio magnetroninio garinimo įrenginys, KJLC PVD 75, Kurt J. Lesker Company LtD

Padalinys: Gyvybės mokslų centras

Raktažodžiai: Vaakuminis, magnetorinis, garinimas, sluoksnių formavimas, biochemija, biotechnologija, mikrobiologija, makrobiologija, biomedicina

Atsakingas žmogus: Danutė Kurečkienė, tel. +370 5 223 4419, tel. +370 5 223 4400

Prietaisas skirtas vakuuminiam magnetoriniam metalų kontroliuojamo storio sluoksnių formavimui kontroliuojamoje slėgio aplinkoje.

Pagrindinės techninės charakteristikos
Vakuuminės kameros tūris 75 ltr.; Apskrito dengiamo pavyzdžio diametras iki 300 mm; Magnetrono taikinio dydis (diametras) 50.8 cm su dengimo kaminu; Substrato pakaitinimas, maksimali temperatūra, 350 oC; Bazinis vakuumo kameros slėgimas, 2x10-7 Torr. 

Panaudojimo galimybės. Vakuuminis magnetroninis metalų (chromas ir auksas) kontroliuojamo storio sluoksnių (dangų) formavimas kontroliuojamo slėgio (vakuumo) aplinkoje.